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氦漏孔校準裝置

本資料針對DBLS10-5氦氣漏孔校準裝置的組成、操作以及維護。本裝置適用于計量測試單位開展標準漏孔校準,量值溯源。本系統結構簡單,易于操作、維護,效率高。

關鍵詞:標準漏孔 | MPCVD | 電容薄膜規真空計 | 高低真空校準裝置 | 氦漏孔校準裝置

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技術配置
本資料針對DBLS10-5氦氣漏孔校準裝置的組成、操作以及維護。本裝置適用于計量測試單位開展標準漏孔校準,量值溯源。本系統結構簡單,易于操作、維護,效率高。
1、設備使用環境條件:
環境溫度20±5℃
相對濕度<85%RH
電源電壓220V
2、技術指標:
標準漏孔校準范圍(1×10-4~1×10-10)Pa•m3/s,
不確定度:U=(10~15)%(k=2);
氦氣(真空模式)最低可檢漏率<5E-12mbar•L/s;
ULTRA模式最大進氣口壓力<0.4mbar;
含兩個燈絲離子源(3年質保)的耐用質譜系統;
專用校準軟件可實現計算機數據采集、漏率計算和原始記錄生成;
滿足JJF1833-2020《真空氦標準漏孔校準規范》的測量要求。

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